China bouwt in het geheim EUV-machine en daagt ASML monopolie uit

China heeft in stilte een grootschalig en staatsgedreven programma opgezet om het Westerse monopolie op de meest geavanceerde chiptechnologie te doorbreken. In een zwaar beveiligd laboratorium in Shenzhen hebben Chinese wetenschappers begin 2025 een prototype gebouwd van een machine die extreme ultraviolet lithografie (EUV) kan uitvoeren. Dat is de cruciale technologie achter de productie van de krachtigste chips voor kunstmatige intelligentie, smartphones en moderne wapensystemen. Dat blijkt uit berichtgeving van persbureau Reuters.

China’s streven is een directe uitdaging voor het Westen, dat deze technologie tot nu toe volledig controleerde.

EUV-lithografie geldt als het heilige graal van de halfgeleiderindustrie. Met behulp van extreem ultraviolet licht worden microscopisch kleine circuits op siliciumwafers geëtst, duizenden keren dunner dan een menselijke haar. Hoe kleiner de circuits, hoe krachtiger en energiezuiniger de chip.

Tot op heden beheerst slechts één bedrijf deze technologie volledig: het Nederlandse ASML, gevestigd in Veldhoven. De machines kosten circa 250 miljoen dollar per stuk en vormen het fundament onder chips van bedrijven als Nvidia en AMD, geproduceerd door TSMC, Intel en Samsung.

China heeft nooit toegang gekregen tot deze machines. Onder druk van de Verenigde Staten blokkeerde Nederland vanaf 2018 de export van EUV-systemen. Sinds 2022 zijn de exportbeperkingen verder aangescherpt om China structureel een generatie achter te houden in chipproductie.

Volgens bronnen rond het project is het Chinese EUV-prototype inmiddels operationeel en in staat om extreem ultraviolet licht te genereren. Het systeem beslaat vrijwel een volledige fabrieksvloer en is aanzienlijk groter dan ASML’s machines. Werkende chips zijn echter nog niet geproduceerd.

Het doel van de Chinese overheid is om uiterlijk in 2028 chips te maken met deze machine. Volgens insiders is echter 2030 realistischer. Zelfs dat zou jaren eerder zijn dan analisten tot nu toe verwachtten, die uitgingen van minstens een decennium achterstand.

ASML-ceo Christophe Fouquet stelde in april nog dat China “nog vele jaren” nodig heeft om EUV te ontwikkelen. Het bestaan van dit prototype suggereert echter dat China dichter bij technologische onafhankelijkheid staat dan aangenomen.

Het project maakt deel uit van een zesjarig nationaal programma voor halfgeleiderzelfvoorziening, een van de hoogste prioriteiten van president Xi Jinping. Intern is het omschreven als China’s versie van het Manhattan Project, het Amerikaanse oorlogsprogramma dat leidde tot de atoombom.

De coördinatie ligt bij Ding Xuexiang, vertrouweling van Xi en hoofd van de Centrale Commissie voor Wetenschap en Technologie van de Communistische Partij. Techconcern Huawei speelt een centrale rol en verbindt honderden bedrijven en onderzoeksinstituten, met duizenden ingenieurs verspreid over het land.

Het uiteindelijke doel is helder. China wil volledig eigen machines bouwen, zonder Amerikaanse of Europese technologie in de toeleveringsketen.

Een doorslaggevende factor in de Chinese doorbraak is de rekrutering van voormalige ASML-medewerkers. Gepensioneerde of recent vertrokken ingenieurs van Chinese afkomst bleken cruciaal. Zij beschikken namelijk over diepgaande kennis van EUV-systemen en waren minder gebonden aan Westerse carrièrebeperkingen.

Volgens bronnen kregen sommige ingenieurs valse identiteiten en toegangspassen op naam van aliassen. Binnen het beveiligde complex moesten zij zelfs collega’s onder hun schuilnamen aanspreken. Het project viel onder nationale veiligheidsclassificatie. Niemand buiten het terrein mocht weten wat er werd gebouwd.

Sinds 2019 bood China buitenlandse chipdeskundigen royale beloningen. Tekengelden liepen op tot 5 miljoen yuan, aangevuld met huisvestingssubsidies. ASML won in 2019 nog een rechtszaak over gestolen handelsgeheimen, maar handhaving over de grens bleek lastig.

Hoewel het lichtbronprobleem grotendeels is opgelost, kampt China met een hardnekkige uitdaging. De precisie-optica. ASML werkt hiervoor samen met het Duitse Carl Zeiss AG, dat spiegels produceert die maanden vergen om te maken.

Chinese onderzoeksinstituten, waaronder het Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, hebben vooruitgang geboekt bij de integratie van EUV-licht in optische systemen. De kwaliteit blijft tot nu toe echter achter bij de Westerse standaard.

De machine werkt door lasers 50.000 keer per seconde op gesmolten tin te schieten, wat plasma van 200.000 graden Celsius creëert. Die energie moet perfect worden gericht en dat vergt bizarre precisie.

Om componenten te verkrijgen, koopt China oudere ASML-machines op via tweedehandsmarkten en - veilingen. Ook worden onderdelen betrokken via tussenbedrijven om de eindgebruiker te verhullen. Exportbeperkte componenten van Nikon en Canon zouden eveneens zijn gebruikt.

Op Alibaba Auction zijn in oktober 2025 nog oudere ASML-systemen geveild. Daarnaast werkt een team van circa 100 jonge ingenieurs fulltime aan het demonteren en opnieuw opbouwen van onderdelen. Elk bureau wordt gefilmd. Succesvolle reconstructies worden beloond met bonussen.

Huawei is op elk niveau betrokken, van chipontwerp tot eindproduct. Teams werken geïsoleerd van elkaar. Medewerkers slapen vaak op locatie en mogen doordeweeks niet naar huis. Telefoongebruik is beperkt voor gevoelige afdelingen.

CEO Ren Zhengfei zou persoonlijk rapporteren aan de Chinese top. Slechts een klein deel van Huawei’s personeel overziet het volledige programma.

Als China erin slaagt om EUV-technologie zelfstandig te beheersen, verschuift de geopolitieke balans. De Westerse exportcontroles verliezen dan hun strategische effectiviteit. Voor AI, defensie en digitale soevereiniteit zou dat verstrekkende gevolgen hebben.

Analisten benadrukken dat het technisch haalbaar is. De vraag is niet of, maar wanneer. En dat moment lijkt sneller te naderen dan het Westen had voorzien.